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千級無塵車間標(biāo)準(zhǔn)介紹
1、潔凈度
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
2、壓差
對于大部分無塵車間而言，是為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力;潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力;相通無塵車間之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
3、溫濕度
常規(guī)是溫度22±2度，濕度55±5%。
以上就是關(guān)于千級無塵車間標(biāo)準(zhǔn)的介紹，歡迎與科銳特聯(lián)系哦
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